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原厂现货!!EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型

原厂现货!!EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型 EV-X200N
池田屋实业优势供应 ,并提供报价图片

  • 更新时间:2025-03-21
  • 产品型号:EV-X200N
  • 厂商性质:经销商
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产品详情

原厂现货!!EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型  EV-X200N

原厂现货!!EBARA荏原 干式真空泵 EV-X型  EV-X200N


EV-X型

结构紧凑、节能,单个装置可覆盖多种工艺

适用于中等负荷工艺
高温控制
节能
采用耐腐蚀材料作为标准
提高耐腐蚀性的选择
不同频率下性能相同(50Hz/60Hz)
无油
符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求
占地面积小

该款中负荷工序用干式真空泵搭载了荏原d特的节能技术,并采用了针对自动化工厂制造而优化的模块化设计,实现了进一步的小型化和节能化。
宽范围的温度控制扩大了适用工艺。
由于同一型号可覆盖多个工艺,因此可优化备用设备库存,减少维护和培训工作,并可灵活适应未来的工艺扩展。
此外,通过对各工序进行最佳温度控制,可提高工序耐性,并可延长零件的更换周期,有助于降低TCoO。
支持的应用示例:各种蚀刻和CVD、灰化、离子注入、外延生长等。


产品规格

型式EV-X100NEV-X200NEV-X300N
最大处理风量(L/min)10,00020,00030,000
到达压力(Pa)0.50.50.5
电源规格3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)3相200-220V (50/60Hz)
到达底压时消耗电力(kW)*0.911.5



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