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直营!!EBARA荏原 半导体用干式真空泵

直营!!EBARA荏原 半导体用干式真空泵 EV-S50P/N
池田屋实业优势供应 ,并提供报价图片

  • 更新时间:2025-03-22
  • 产品型号:EV-S50P/N
  • 厂商性质:经销商
  • 访  问  量:69
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产品详情

直营!!EBARA荏原  半导体用干式真空泵  EV-S50P/N

直营!!EBARA荏原  半导体用干式真空泵  EV-S50P/N



EV-S型

节能、节省空间的干式真空泵

节能
紧凑轻便
耐腐蚀材料选项
提供 N2 吹扫型号
不同频率下性能相同(50/60Hz)
无油
符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求

产品介绍

我们的转子设计和空转功能实现了高水平的节能和紧凑性。这有助于降低运行成本。

此外,还提供耐腐蚀材料选项,可用于广泛的应用,从轻负载应用(例如负载锁和 SEM)到腐蚀过程。


规格

模型单元EV-S20EV-S20P/NEV-S30EV-S30PEV-S50EV-S50P/NEV-S100EV-S100P/NEV-S200EV-S200P/N
抽气速度升/分钟1,6701,6703,3003,3005,0005,00010,00010,00020,00020,000
极限压力350.51.00.50.50.50.50.50.5
连接尺寸进气
NW50NW50NW50NW50NW50NW50NW80NW80NW100NW100
排气口
NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW25NW40NW40
极限压力下的近似功率值千瓦0.40.40.40.40.550.550.650.650.750.75
冷却水流动升/分钟1.5~3.01.5~3.01.5~3.01.5~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.02.0~3.0
温度最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30
氮气流动帕•立方米/秒-17–20 (2.4)-17–20 (2.4)
17–20 (2.4)
17–20 (2.4)
17–20 (2.4)
电源相位/电压/频率200V 型号
三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz三相/200-220V,50/60Hz
400V 型号
三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz--三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz三相/380-440V,50/60Hz
供电容量千伏安3.23.23.63.64.84.86.46.46.86.8
近似质量公斤60609090100100120120170170






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