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原厂!!EBARA荏原 高负荷工艺干式真空泵

原厂!!EBARA荏原 高负荷工艺干式真空泵 EV-M302N
池田屋实业优势供应 ,并提供报价图片

  • 更新时间:2025-03-22
  • 产品型号:EV-M302N
  • 厂商性质:经销商
  • 访  问  量:114
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产品详情

原厂!!EBARA荏原 高负荷工艺干式真空泵  EV-M302N

原厂!!EBARA荏原 高负荷工艺干式真空泵  EV-M302N


EV-M型

适合节能和高负荷工艺的干式真空泵

高负荷工艺支持
高温控制
节能
采用耐腐蚀材料作为标准
提高耐腐蚀性的选择
不同频率下性能相同(50/60Hz)
无油
符合 CE 标志/SEMI-S2/NRTL 要求

产品介绍

荏原的高温技术支持半导体、液晶显示器和太阳能电池制造过程中产生反应副产物的高负荷工艺。

高节能性能可同时实现高负荷工艺和节能。

标准配置为耐腐蚀材料,并且还包括排量为110,000 L/min的大排量型号。

我们拥有适合各种工艺条件的丰富产品阵容,能够处理各种高负荷工艺。


规格

模型单元EV-M20NEV-M102NEV-M202NEV-M302NEV-M502NEV-M505SFEV-M802NEV-M805SFEV-M1205SF
抽气速度升/分钟1,80010,00020,00030,0005万5万8万8万110,000
极限压力50.50.50.50.50.50.50.50.5
连接尺寸进气
NW40ISO100ISO100ISO100ISO160ISO160ISO200ISO200ISO200
排气口
NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40NW40
极限压力下的近似功率值千瓦1.21.81.92.32.13.92.84.65.3
冷却水流动升/分钟3~83~83.5~84~85~85~85~85~85~8
温度最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30最多 30
氮气流动帕•立方米/秒26~3126~3126~3126~3128~3322828~3322834~35
电源相位/电压/频率200V 型号
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz
400V 型号
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
-三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz
供电容量千伏安3.35.466.87.115.78.319.414.2
近似质量公斤170320360400500580740820870






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